Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication : From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales
Salvato in:
| Autori principali: | , |
|---|---|
| Natura: | Livre numérique |
| Lingua: | Anglais |
| Pubblicazione: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Accesso online: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Nota: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
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| Edition sous un autre format: | • Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication, From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales |