Lecture Notes on Principles of Plasma Processing
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| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Language: | Anglais |
| Published: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Online Access: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Note: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Lecture notes on principles of plasma processing, Francis F. Chen, Jane P. Chang, New York, Kluwer Academic/Plenum Publishers, 2003, IX-208 p., 0-306-47497-2 |