Silicon nitride for microelectronic applications. Part. iPreparation and properties
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| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
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| Note: |
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| Edition sous un autre format: | • Silicon Nitride for Microelectronic Applications, Part 1 Preparation and Properties |
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