Reduced Thermal Processing for ULSI
Enregistré dans:
| Andre forfattere: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Sprog: | Anglais |
| Udgivet: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Online adgang: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Kommentar: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Reduced Thermal Processing for ULSI, 978-1-4612-7857-3 |
| Emne beskrivelse: | Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
|---|---|
| ISBN: | 9781461305415 |
| Adgang: | Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales Accès soumis à abonnement pour tout autre établissement Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales. https://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 |