Advanced nanoscale ULSI interconnects : fundamentals and applications
Advanced Nanoscale ULSI Interconnects: Fundamental and Applications brings a comprehensive description of copper based interconnect technology for Ultra Large Scale Integration (ULSI) technology to Integrated Circuit (ICs) application. This book reviews the basic technologies used today for the copp...
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|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
New York, NY :
Springer New York
2009.
Cham : Springer Nature |
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| Note: |
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| Edition sous un autre format: | • Advanced Nanoscale ULSI Interconnects: Fundamentals and Applications, Texte imprimé, 9780387958675 • Advanced Nanoscale ULSI Interconnects: Fundamentals and Applications, Texte imprimé, 9780387959054 • Advanced Nanoscale ULSI Interconnects: Fundamentals and Applications, Texte imprimé, 9781461497448 |