Plasma Processing of Semiconductors
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| Altres autors: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Idioma: | Anglais |
| Publicat: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Accés en línia: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Nota: |
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| Edition sous un autre format: | • Plasma Processing of Semiconductors, 978-94-010-6486-6 |