Plasma Processing of Semiconductors
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| Άλλοι συγγραφείς: | |
|---|---|
| Μορφή: | Livre numérique |
| Γλώσσα: | Anglais |
| Έκδοση: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Διαθέσιμο Online: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Σημείωση: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Plasma Processing of Semiconductors, 978-94-010-6486-6 |
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| 506 | |a Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales | ||
| 506 | |a Accès soumis à abonnement pour tout autre établissement | ||
| 506 | |a Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales. https://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 | ||
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