Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies
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| Άλλοι συγγραφείς: | |
|---|---|
| Μορφή: | Livre numérique |
| Γλώσσα: | Anglais |
| Έκδοση: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Διαθέσιμο Online: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Σημείωση: |
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| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies, [NATO advanced study institute on chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies, Kaunas, Lithuania, 3-14 September 2001], Dordrecht, Kluwer Academic Publishers, 2002, 1 vol. (XIII-363 p.), NATO science series, 1-4020-0525-3 |
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| 506 | |a Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales | ||
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