Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies
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| Altres autors: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Idioma: | Anglais |
| Publicat: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
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| Nota: |
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| Edition sous un autre format: | • Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies, [NATO advanced study institute on chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies, Kaunas, Lithuania, 3-14 September 2001], Dordrecht, Kluwer Academic Publishers, 2002, 1 vol. (XIII-363 p.), NATO science series, 1-4020-0525-3 |