Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies
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| Format: | Livre numérique |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
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| Note: |
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| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies, [NATO advanced study institute on chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies, Kaunas, Lithuania, 3-14 September 2001], Dordrecht, Kluwer Academic Publishers, 2002, 1 vol. (XIII-363 p.), NATO science series, 1-4020-0525-3 |
| Description: | Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
|---|---|
| ISBN: | 9789401003537 |
| Accès: | Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales Accès soumis à abonnement pour tout autre établissement Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales. https://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 |