Nanoimprint lithography : an enabling process for nanofabrication
Nanoimprint Lithography: An enabling process for nanofabrication presents a comprehensive description of nanotechnology that is one of the most promising low-cost, high-throughput technologies for manufacturing nanostructures, and an emerging lithography candidates for 22, 16 and 11 nm nodes. It pro...
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg
2013.
Cham : Springer Nature |
| Accès en ligne: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Note: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Nanoimprint Lithography: An Enabling Process for Nanofabrication, Texte imprimé, 9783642344275 |