Ion beams in materials processing and analysis
A comprehensive review of ion beam application in modern materials research is provided, including the basics of ion beam physics and technology. The physics of ion-solid interactions for ion implantation, ion beam synthesis, sputtering and nano-patterning is treated in detail. Its applications in m...
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| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Sprache: | Anglais |
| Veröffentlicht: |
Vienna :
Springer Vienna
2013.
Cham : Springer Nature |
| Online Zugang: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Anmerkung: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
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| Edition sous un autre format: | • Ion Beams in Materials Processing and Analysis, Texte imprimé, 9783211993552 |