Advanced mechatronics and MEMS devices
Advanced Mechatronics and MEMS Devicesdescribes state-of-the-art MEMS devices and introduces the latest technology in electrical and mechanical microsystems. The evolution of design in microfabrication, as well as emerging issues in nanomaterials, micromachining, micromanufacturing and microassembly...
Gorde:
| Beste egile batzuk: | |
|---|---|
| Formatua: | Livre numérique |
| Hizkuntza: | Anglais |
| Argitaratua: |
New York, NY :
Springer New York
2013.
Cham : Springer Nature |
| Saila: | Microsystems
23 |
| Sarrera elektronikoa: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Oharra: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Advanced Mechatronics and MEMS Devices, Texte imprimé, 9781441999849 • Advanced Mechatronics and MEMS Devices, Texte imprimé, 9781441999863 • Advanced Mechatronics and MEMS Devices, Texte imprimé, 9781489997456 |