Advanced mechatronics and MEMS devices
Advanced Mechatronics and MEMS Devicesdescribes state-of-the-art MEMS devices and introduces the latest technology in electrical and mechanical microsystems. The evolution of design in microfabrication, as well as emerging issues in nanomaterials, micromachining, micromanufacturing and microassembly...
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| Andre forfattere: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Sprog: | Anglais |
| Udgivet: |
New York, NY :
Springer New York
2013.
Cham : Springer Nature |
| Serier: | Microsystems
23 |
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| Kommentar: |
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| Edition sous un autre format: | • Advanced Mechatronics and MEMS Devices, Texte imprimé, 9781441999849 • Advanced Mechatronics and MEMS Devices, Texte imprimé, 9781441999863 • Advanced Mechatronics and MEMS Devices, Texte imprimé, 9781489997456 |