Mechanics and physics of precise vacuum mechanisms

In this book the Russian expertise in the field of the design of precise vacuum mechanics is summarized. A wide range of physical applications of mechanism design in electronic, optical-electronic, chemical, and aerospace industries is presented in a comprehensible way. Topics treated include the me...

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Auteurs principaux: Deulin, Evgueni A., 1938-, MiKhailov, Valery P., 1961- (Auteur), Panfilov, Yuri V., 1948- (Auteur), Nevshupa, Roman A., 1970- (Auteur)
Format: Livre numérique
Langue:Anglais
Publié: Dordrecht : Springer Netherlands : Springer e-books [20..].
Cham : Springer Nature
Collection:Fluid Mechanics and Its Applications 91
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Note: Archives Springer e-books (Licence nationale)
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Edition sous un autre format:• Mechanics and Physics of Precise Vacuum Mechanisms, Texte imprimé, 9789048125197

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