Precision motion control : design and implementation
Applications of precision engineering, generally defined as manufacturing to tolerances that are better than one part in 105, abound and can be found in various semiconductor processes (e.g., lithography, wafer probing, inspection), co-ordinate measuring machines, precision metrology systems (e.g.,...
שמור ב:
| Auteurs principaux: | , , |
|---|---|
| פורמט: | Livre numérique |
| שפה: | Anglais |
| יצא לאור: |
London :
Springer London
2008.
Cham : Springer Nature |
| סדרה: | Advances in Industrial Control
|
| גישה מקוונת: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| הערה: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Precision Motion Control, Texte imprimé, 9781848000209 • Precision Motion Control, Texte imprimé, 9781848006812 • Precision motion control, design and implementation, Tan Kok Kiong, Lee Tong Heng, Huang Sunan, Second edition, 2010, London, Springer, 1 vol. (XVI-272 p.), Advances in industrial control, 978-1-84996-704-4 |