Pulvérisation magnétron d'une cible chaude de titane : étude du procédé et caractérisation des couches minces métalliques ou d'oxydes
Le procédé de synthèse de couches minces par pulvérisation magnétron est très répandu dans l industrie. Hors, pour obtenir de meilleures propriétés, les films obtenus nécessitent souvent un recuit. Le procédé de pulvérisation à cible chaude (non refroidie) utilise le bombardement ionique pour chauff...
Tallennettuna:
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| Muut tekijät: | , , , , , , , |
| Aineistotyyppi: | Thèse numérique |
| Kieli: | Français |
| Julkaistu: |
2021.
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| Linkit: | Accès au texte intégral https://theses.univ-orleans.fr/public/2021ORLE3129_va.pdf http://www.theses.fr/2021ORLE3129/abes https://theses.hal.science/tel-03629232 |
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Titre provenant de l'écran-titre Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....) Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés. UMR 7344 (Orléans ; 2012-....) (Laboratoire) Autre(s) contribution(s) : Caroline Richard (Président du jury) ; Anne-Lise Thomann, Eric Millon, Caroline Richard, Angélique Bousquet, Cédric Jaoul, Stéphane Cuynet, Stéphanos Konstantinidis, Amaël Caillard (Membre(s) du jury) ; Angélique Bousquet, Cédric Jaoul (Rapporteur(s)) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Magnetron sputtering of a hot target of titanium :, study of the process and characterization of metal or oxide thin films |