Caractérisation de lacunes d'oxygène dans les diélectriques à haute permittivité à destination des transistors High-k Metal Gate
La présence de lacunes d oxygène dans les diélectriques est supposée dégrader les propriétés électriques des transistors high-k metal gate . Nous avons donc étudié les possibilités d une nouvelle méthodologie pour analyser ces défauts dans des couches minces de HfO2. Il s agit d utiliser des techniq...
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| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | , , , , , |
| Natura: | Thèse numérique |
| Lingua: | Français |
| Pubblicazione: |
2017.
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | Accès au texte intégral https://theses.univ-orleans.fr/public/2017ORLE2049_vm.pdf http://www.theses.fr/2017ORLE2049/abes https://theses.hal.science/tel-01951532 |
| Nota: |
Titre provenant de l'écran-titre Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....) Partenaire(s) de recherche : Conditions extrêmes et matériaux : haute température et irradiation (Orléans ; 2008-...) (Laboratoire) Autre(s) contribution(s) : Eric Millon (Président du jury) ; Marie-France Barthe, Eric Millon, Filip Tuomisto, Lionel Santinacci, Damien Deleruyelle, Mickaël Gros-Jean, François Bertin (Membre(s) du jury) ; Filip Tuomisto, Lionel Santinacci (Rapporteur(s)) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Characterization of oxygen vacancies in high-k dielectrics used in HKMG stacks |
| LEADER | 05844nam a22004457a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 693218 | ||
| 008 | 181211s2017 xxe ||| |||| 00| 0 fre d | ||
| 009 | PPN232668345 | ||
| 041 | 0 | |a fre |b fre |b eng | |
| 082 | |a 621.3 | ||
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| 100 | 1 | |a Alemany y Palmer, Mathias, |d 1988- | |
| 240 | 1 | 0 | |a Characterization of oxygen vacancies in high-k dielectrics used in HKMG stacks |
| 245 | 1 | 0 | |a Caractérisation de lacunes d'oxygène dans les diélectriques à haute permittivité à destination des transistors High-k Metal Gate |c Mathias Alemany y Palmer ; sous la direction de Marie-France Barthe. |
| 256 | |a Données textuelles | ||
| 260 | |c 2017. | ||
| 500 | |a Titre provenant de l'écran-titre | ||
| 500 | |a Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....) | ||
| 500 | |a Partenaire(s) de recherche : Conditions extrêmes et matériaux : haute température et irradiation (Orléans ; 2008-...) (Laboratoire) | ||
| 500 | |a Autre(s) contribution(s) : Eric Millon (Président du jury) ; Marie-France Barthe, Eric Millon, Filip Tuomisto, Lionel Santinacci, Damien Deleruyelle, Mickaël Gros-Jean, François Bertin (Membre(s) du jury) ; Filip Tuomisto, Lionel Santinacci (Rapporteur(s)) | ||
| 502 | |a Thèse de doctorat. Sciences des Matériaux. Orléans. 2017 | ||
| 520 | |a La présence de lacunes d oxygène dans les diélectriques est supposée dégrader les propriétés électriques des transistors high-k metal gate . Nous avons donc étudié les possibilités d une nouvelle méthodologie pour analyser ces défauts dans des couches minces de HfO2. Il s agit d utiliser des techniques optimisées pour la caractérisation de nano-dispositifs i.e. la spectroscopie de perte d'énergie des électrons (EELS) en microscopie électronique en transmission et la cathodoluminescence (CL)calibrées par la spectroscopie d annihilation de positons (PAS). Des films de HfO2 ont été déposés par ALD et PVD sur des substrats de silicium. Pour les besoins du PAS, des couches d épaisseur (10 à 100nm) supérieure au standard de la nanoélectronique ont été élaborées. D après leurs analyses par DRX,RBS/NRA, MEB, TEM. Ces couches présentent majoritairement une structure complexe et un excès d oxygène important. Les résultats PAS dépendent de la technique de dépôt et du traitement thermique.Leur comparaison avec des caractérisations électriques sur les couches les plus minces indique la génération de champs électriques dans la couche, à l interface avec le substrat et dans le substrat. Ces observations confirment la présence de charges évoquée dans la littérature. Ces études ont permis de mettre au point la méthodologie et les conditions d acquisition et d analyse des spectres EELS et CL.Ceux-ci dépendent de la technique de dépôt et du traitement thermique. Cependant la qualité des couches n a pas permis d isoler les effets de la stoechiométrie. Ce travail ouvre de nombreuses perspectives pour approfondir la compréhension des phénomènes se déroulant au sein des nano-dispositifs. | ||
| 520 | |a The presence of oxygen vacancies in high-k oxides is fore seen to have detrimental effects in high-kmetal gate MOS transistors. To validate this hypothesis, we investigate the possibility of using electron energy loss spectroscopy in an electron transmission microscope (EELS) and the cathodoluminescence(CL) calibrated by the positron annihilation spectroscopy (PAS) to analyze these defects in thin HfO2 layers.To develop this methodology, HfO2 films have been deposited both by ALD and PVD on silicon substrates. To make the samples adapted to the PAS depth resolution, the layers thicknesses (10 to100 nm) are higher than those used in microelectronics. According to XRD, RBS/NRA, MEB, TEM results, these layers present a complex structure and a large excess of oxygen.PAS results depend both on the deposition technique and on the heat treatment. They evidence the presence of electric fields in the oxide layer or at the interface with the substrate. Electrical measurements in the thinnest layers, confirm the presence of charges in the oxide layer as already mentioned in the literature. The sign of these charges changes with heat treatment and is in agreement with the PAS results.EELS improved data acquisition has been developed. The EELS and CL spectra have been analyzed using a systematic methodology allowing to extracting characteristic parameters. They depend on the deposition technique and the heat treatment. However, due to the poor quality of the layers, it has not been possible to isolate the effects of the stoichiometry. This work opens many perspectives to improve knowledge on phenomena occurring in devices. | ||
| 538 | |a Configuration requise : un logiciel capable de lire un fichier au format : PDF | ||
| 650 | |a Nanoélectronique | ||
| 650 | |a Diélectriques | ||
| 650 | |a Spectroscopie de perte d'énergie des électrons | ||
| 650 | |a Thèses et écrits académiques | ||
| 700 | 1 | |a Barthe, Marie-France. |4 ths |4 opn | |
| 700 | 1 | |a Millon, Eric, |d 1959- |4 opn | |
| 700 | 1 | |a Santinacci, Lionel. |4 opn | |
| 700 | 1 | |a Deleruyelle, Damien, |d 1977- |4 opn | |
| 700 | 1 | |a Gros-Jean, Mickaël, |d 19..-...., |c auteur en nanoélectronique. |4 opn | |
| 700 | 1 | |a Bertin, François, |d 1951-...., |c publicitaire. |4 opn | |
| 710 | 2 | |a Université d'Orléans. |4 dgg | |
| 856 | 4 | |q PDF |s 15646657 |u http://www.theses.fr/2017ORLE2049/document |z Accès au texte intégral | |
| 856 | 4 | |u https://theses.univ-orleans.fr/public/2017ORLE2049_vm.pdf | |
| 856 | 4 | |u http://www.theses.fr/2017ORLE2049/abes | |
| 856 | 4 | |u https://theses.hal.science/tel-01951532 | |
| 997 | |0 693218 |1 Thèse numérique |a Ressource numérique |b INSA |b ENSA |c 0/Bibliothèque numérique/ |c 1/Bibliothèque numérique/Autre ressource numérique/ | ||