Etude des transferts d'énergie plasma/surface dans différents régimes de pulvérisation magnétron
Pour un bon contrôle du procédé de dépôt par pulvérisation magnétron et donc des propriétés des films déposés, une meilleure connaissance des processus de pulvérisation d une part, et de croissance du film d autre part est nécessaire. Une façon de mettre en évidence les différents mécanismes impliqu...
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| Altres autors: | , , , , |
| Format: | Thèse numérique |
| Idioma: | Français |
| Publicat: |
2016.
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| Matèries: | |
| Accés en línia: | Accès au texte intégral https://theses.univ-orleans.fr/public/2016ORLE2074_va.pdf http://www.theses.fr/2016ORLE2074/abes https://theses.hal.science/tel-01622630 |
| Nota: |
Titre provenant de l'écran-titre Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....) Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés. UMR 7344 (Orléans ; 2012-....) (Laboratoire) Autre(s) contribution(s) : Stephanos Kostantinidis (Président du jury) ; Stephanos Kostantinidis, Pierre-Yves Jouan, Marie-Christine Hugon, Amaël Caillard, Caroline Andreazza (Membre(s) du jury) ; Pierre-Yves Jouan, Marie-Christine Hugon (Rapporteur(s)) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Study of the energy flux during different regimes of magnetron sputtering |