Development and study of microdischarge arrays on silicon
L'objectif de cette thèse est de fournir une meilleure compréhension des différents phénomènes physiques liés aux microplasmas/microdécharges. Pour cela, des matrices de microréacteurs sur silicium ont été étudiées. De nombreuses configurations ont été construites de manière à analyser l influe...
Guardat en:
| Autor principal: | |
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| Altres autors: | |
| Format: | Thèse numérique |
| Idioma: | Anglais |
| Publicat: |
2013.
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| Matèries: | |
| Accés en línia: | Accès au texte intégral https://theses.univ-orleans.fr/public/2013ORLE2002_vm.pdf http://www.theses.fr/2013ORLE2002/abes https://theses.hal.science/tel-00843656 |
| Nota: |
Titre provenant de l'écran-titre Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....) Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés. UMR 7344 (Orléans ; 2012-....) (Laboratoire) Autre(s) contribution(s) : Jean-Michel Pouvesle (Président du jury) ; Rémi Dussart, Jean-Michel Pouvesle, Jörg Winter, Volker Schulz-Von der Gathen, Lawrence J. Overzet (Membre(s) du jury) ; Jörg Winter (Rapporteur(s)) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Développement et étude de matrices microdécharge sur silicium |