Les interactions ions énergétiques-solides : :: SCD d'Orléans

Les interactions ions énergétiques-solides : applications aux dépôts, aux modifications de surfaces, et aux gravures de couches minces

Les interactions ions énergétiques-solides : applications aux dépôts, aux modifications de surfaces, et aux gravures de couches minces

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Richardt, Aimé, 1934-, Durand, Anne-Marie (VerfasserIn)
Format:	Livre papier
Sprache:	Français
Veröffentlicht:	Paris : Ed. In Fine C 1997.
Schlagworte:	Surfaces (technologie) Vide (physique) Couches minces Vide (technologie) Pulvérisation cathodique Ions Interactions ion-ion
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc

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