Les interactions ions énergétiques-solides : applications aux dépôts, aux modifications de surfaces, et aux gravures de couches minces

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Dades bibliogràfiques
Autors principals: Richardt, Aimé, 1934-, Durand, Anne-Marie (Autor)
Format: Livre papier
Idioma:Français
Publicat: Paris : Ed. In Fine C 1997.
Matèries:
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
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100 1 |a Richardt, Aimé,  |d 1934- 
245 1 0 |a Les interactions ions énergétiques-solides :  |b applications aux dépôts, aux modifications de surfaces, et aux gravures de couches minces   |c par Aimé Richardt et Anne-Marie Durand. 
260 |a Paris :  |b Ed. In Fine. 
260 |c C 1997. 
300 |a 1 vol. (383 p.) :  |b ill. ;  |c 25 cm. 
504 |a Bibliogr. p. 371 
650 |a Surfaces (technologie) 
650 |a Vide (physique) 
650 |a Couches minces 
650 |a Vide (technologie) 
650 |a Pulvérisation cathodique 
650 |a Ions 
650 |a Interactions ion-ion 
700 1 |a Durand, Anne-Marie.  |4 aut 
997 |0 433046  |1 Livre papier  |a Ressource papier  |c 0/Orléans/  |c 1/Orléans/OSUC/  |z Orléans, OSUC, 530.417