Synthèse de nanotubes de carbone dans le cadre de la mise en œuvre de substrats texturés pour l intégration 3D
La croissance et la métallisation de nanotubes de carbone verticaux réalisés sur des substrats de silicium plans et percés sont étudiées pour la fabrication d interconnexions à fort facteur d'aspect. Le but final est de réussir à remplir de nanotubes de carbone des via obtenus dans le substrat...
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| Формат: | Thèse et Mémoire papier |
| Язык: | Français |
| Опубликовано: |
[S.l.] :
[s.n.]
2008.
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| Предметы: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Carbon nanotube synthesis on etched silicon substrate for 3D integration |