ETUDE DE LA CINETIQUE DE CROISSANCE DE INP PAR LA METHODE AUX HYDRURES : EFFET DU RENDEMENT DE DECOMPOSITION DE LA PHOSPHINE
NOUS AVONS MIS EN EVIDENCE DANS CETTE ETUDE DE L'HOMOEPITAXIE SUR LE PHOSPHURE D'INDIUM, LE ROLE IMPORTANT DU DEGRE DE PYROLISE DE LA PHOSPHINE. LA PREPARATION DES SURFACES DES SUPPORTS DE INP (100) UTILISES A FAIT L'OBJET D'UNE INVESTIGATION SYSTEMATIQUE POUR ELIMINER LES IMPURE...
Wedi'i Gadw mewn:
| Prif Awdur: | |
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| Fformat: | Thèse et Mémoire papier |
| Iaith: | Français |
| Cyhoeddwyd: |
1985.
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| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | STUDY OF INP GROWTH KINETICS BY HYDRIDES METHOD : PHOPHINE DECOMPOSITION YIELD EFFECT |
| Crynodeb: | NOUS AVONS MIS EN EVIDENCE DANS CETTE ETUDE DE L'HOMOEPITAXIE SUR LE PHOSPHURE D'INDIUM, LE ROLE IMPORTANT DU DEGRE DE PYROLISE DE LA PHOSPHINE. LA PREPARATION DES SURFACES DES SUPPORTS DE INP (100) UTILISES A FAIT L'OBJET D'UNE INVESTIGATION SYSTEMATIQUE POUR ELIMINER LES IMPURETES NUISIBLES AUX QUALITES ELECTRONIQUES ET OPTIQUES. CETTE ETUDE EST REALISEE SUR LE REACTEUR ET L'ELLIPSOMETRE CONCUS AU LABORATOIRE. LE SUIVI ELLIPSOMETRIQUE DES ECHANTILLONS A PERMIS DE DETERMINER LES CONDITIONS EXPERIMENTALES OPTIMALES DE PREPARATION DES SURFACES : NETTOYAGE CHIMIQUE, PUIS RECUIT THERMIQUE A UNE TEMPERATURE DE 650**(O)C SOUS 2 X 10**(-3) ATM DE PHOSPHINE. LES MESURES DES VITESSES DE CROISSANCE METTENT EN EVIDENCE DEUX REGIMES DE CROISSANCE. UNE MODELISATION THEORIQUE DE LA PYROLISE DE PH::(3) CATALYSEE PAR LES PAROIS EN QUARTZ DU TUBE D'AMENEE DE LA PHOSPHINE PERMET DE RENDRE COMPTE DES RESULTATS EXPERIMENTAUX |
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| Disgrifiad Corfforoll: | 152 P. ; 30 cm. |
| Llyfryddiaeth: | 35 REF |