Caractérisation d'une source de rayonnement extrême-ultraviolet (EUV) par décharge capillaire : mise en évidence du seuil d'ablation des parois
Ce travail concerne l'étude et la caractérisation d'une source de rayonnement Extrême Ultraviolet (EUV) pouvant répondre à diverses applications scientifiques et industrielles en particulier celles liées à la nouvelle génération de la lithographie EUV. Cette source pulsée nommée CAPELLA co...
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| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Thèse et Mémoire papier |
| Lingua: | Français |
| Pubblicazione: |
[S.l.] :
[s.n.]
2005.
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| Soggetti: | |
| Nota: |
Publication autorisée par le jury |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Characterisation of an extreme ultraviolet (EUV) radiation source based on capillary discharge plasma :, observation of an ablation threshold of the capillary wall |