Caractérisation d'une source de rayonnement extrême-ultraviolet (EUV) par décharge capillaire : mise en évidence du seuil d'ablation des parois
Ce travail concerne l'étude et la caractérisation d'une source de rayonnement Extrême Ultraviolet (EUV) pouvant répondre à diverses applications scientifiques et industrielles en particulier celles liées à la nouvelle génération de la lithographie EUV. Cette source pulsée nommée CAPELLA co...
Kaydedildi:
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| Materyal Türü: | Thèse et Mémoire papier |
| Dil: | Français |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
[S.l.] :
[s.n.]
2005.
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| Konular: | |
| Not: |
Publication autorisée par le jury |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Characterisation of an extreme ultraviolet (EUV) radiation source based on capillary discharge plasma :, observation of an ablation threshold of the capillary wall |
Orléans - BU Sciences Technologies STAPS
| Yer | Yer Numarası | Type de prêt | Durum | |
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| Magasin | TS 19-2005-9 b |
A consulter sur place
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| Magasin | TS 19-2005-9 | Kütüphanede |