ORIGINE ET COMPORTEMENT D'UN NUAGE DENSE DE PARTICULES SUBMICRONIQUES DANS UNE DECHARGE : :: SCD d'Orléans

ORIGINE ET COMPORTEMENT D'UN NUAGE DENSE DE PARTICULES SUBMICRONIQUES DANS UNE DECHARGE : RADIOFREQUENCE EN MILIEU ARGON-SILANE BASSE PRESSION

ORIGINE ET COMPORTEMENT D'UN NUAGE DENSE DE PARTICULES SUBMICRONIQUES DANS UNE DECHARGE : RADIOFREQUENCE EN MILIEU ARGON-SILANE BASSE PRESSION

CE TRAVAIL PORTE SUR DIFFERENTS ASPECTS DE PHYSIQUE ET DE PHYSICO-CHIMIE ASSOCIES A LA GENERATION DE POUDRES DANS LES DECHARGES RADIOFREQUENCES (RF) BASSE PRESSION EN MELANGE ARGON-SILANE. CE PHENOMENE CONSTITUE UNE SOURCE DE CONTAMINATION RECONNUE RECEMMENT COMME TRES CRITIQUE DANS LES PROCEDES DE...

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Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Boufendi, Laïfa
Andre forfattere:	Bouchoule, André (Directeur de thèse)
Format:	Thèse et Mémoire papier
Sprog:	Français
Udgivet:	[S.l.] : [s.n.] 1994.
Fag:	Thèses et écrits académiques
Kommentar:	1994ORLE2004
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc
Variante du titre:	FORMATION AND BEHAVIOUR OF DENSE CLOUD OF NANOPARTICLES IN LOW PRESSURE ARGON-SILANE RADIOFREQUENCY DISCHARGE

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