DEVELOPPEMENT, OPTIMISATION ET INDUSTRIALISATION D'UN INSTRUMENT DE CONTROLE, EN TEMPS REEL ET IN-SITU, DES PROCEDES DE DEPOT ET DE GRAVURE EN MICRO-ELECTRONIQUE : UN ELLIPSOMETRE A MODULATION DE POLARISATION
LE TRAVAIL A CONSISTE A METTRE AU POINT ET A INDUSTRIALISER UN ELLIPSOMETRE IN-SITU ET TEMPS REEL, DESTINE A CONTROLER LA GRAVURE OU LE DEPOT DANS LE DOMAINE DES SEMI-CONDUCTEURS. LE PRINCIPE OPTIQUE RETENU, UN ELLIPSOMETRE A MODULATION DE POLARISATION, PERMET D'OBTENIR DES PERFORMANCES COMPATI...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
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| Outros autores: | |
| Formato: | Thèse et Mémoire papier |
| Idioma: | Français |
| Publicado: |
[S.l.] :
[s.n.]
1991.
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| Sujets: | |
| Nota: |
1991ORLE2004 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | DEVELOPMENT, OPTIMIZATION AND INDUSTRIALIZATION OF AN INSTRUMENT DEDICATED TO THE IN-SITU, REAL TIME ETCHING OR COATING PROCESSES IN MICROELECTRONIC: AN ELLIPSOMETER USING A MODULATION OF POLARIZATION |