DIAGNOSTIC ET MODELISATION DE LA DIFFUSION D'UN PLASMA D'ARGON DANS UN REACTEUR RADIOFREQUENCE A SOURCE HELICON
CETTE THESE DECRIT LA MODELISATION, A PARTIR D'UN DIAGNOSTIC EXPERIMENTAL, DE LA DIFFUSION D'UN PLASMA RF D'ARGON DE TYPE SOURCE HELICON DANS UN REACTEUR DE GRAVURE DE CIRCUITS INTEGRES. LE PLASMA EST DIAGNOSTIQUE PAR SONDES ELECTROSTATIQUES: SONDE DE LANGMUIR ET ANALYSEUR D'ENER...
Spremljeno u:
| Glavni autor: | |
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| Daljnji autori: | |
| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Jezik: | Français |
| Izdano: |
[S.l.] :
[s.n.]
1990.
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| Teme: | |
| Bilješka: |
1990ORLE2025 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | EXPERIMENT AND MODELLING OF HELICON RF DIFFUSION ARGON PLASMAS |