CONTROLE DU DEPOT DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE PAR PLASMA MULTIPOLAIRE MICRO-ONDE
CE DOCUMENT PRESENTE L'ETUDE DE LA REALISATION D'UN REACTEUR A PLASMA MULTIPOLAIRE MICRO-ONDE A APPLIQUE AU DEPOT DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE. LE COMPORTEMENT CHIMIQUE DES GAZ EST DISCUTE EN TERMES DE CONCENTRATION EN HYDROGENE MONOATOMIQUE. DEUX PHENOMENES EXPLIQUENT LA PRESENCE DE CETTE...
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| Autor principal: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Thèse et Mémoire papier |
| Lenguaje: | Français |
| Publicado: |
[S.l.] :
[s.n.]
1989.
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| Materias: | |
| Nota: |
1989ORLE2019 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | A CH DEPOSITION MONITORING IN A MICROWAVE MULTIPOLAR PLASMA |