CONTROLE DU DEPOT DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE PAR PLASMA MULTIPOLAIRE MICRO-ONDE

CE DOCUMENT PRESENTE L'ETUDE DE LA REALISATION D'UN REACTEUR A PLASMA MULTIPOLAIRE MICRO-ONDE A APPLIQUE AU DEPOT DE CARBONE AMORPHE HYDROGENE. LE COMPORTEMENT CHIMIQUE DES GAZ EST DISCUTE EN TERMES DE CONCENTRATION EN HYDROGENE MONOATOMIQUE. DEUX PHENOMENES EXPLIQUENT LA PRESENCE DE CETTE...

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ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Morin, Michel
अन्य लेखक: Vandenbulcke, Lionel (शोध सलाहकार)
स्वरूप: Thèse et Mémoire papier
भाषा:Français
प्रकाशित: [S.l.] : [s.n.] 1989.
विषय:
टिप्पणी: 1989ORLE2019
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
Variante du titre:A CH DEPOSITION MONITORING IN A MICROWAVE MULTIPOLAR PLASMA

Orléans - BU Sciences Technologies STAPS

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