Etude de la réactivité induite par laser de l'ammoniac sur une surface de silicium :: SCD d'Orléans

Etude de la réactivité induite par laser de l'ammoniac sur une surface de silicium

Etude de la réactivité induite par laser de l'ammoniac sur une surface de silicium

Ce travail est consacré à la photochimie laser de l'ammoniac en surface du silicium afin de comprendre les premières étapes de la croissance de couches minces de nitrure de silicium assistée par rayonnement. A cette fin, les effets d'un faisceau laser UV (^=355 nm, ?=4,1 ns) ont été étudié...

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Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Gonthiez, Thierry, 1975-
Andre forfattere:	Brault, Pascal, 1961- (Directeur de thèse)
Format:	Thèse et Mémoire papier
Sprog:	Français
Udgivet:	[S.l.] : [s.n.] 2001.
Fag:	Silicium Ammoniac Spectroscopie de masse par désorption de champ Adsorption Photochimie laser Spectroscopie atomique Spectroscopie moléculaire Thèses et écrits académiques
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc
Variante du titre:	Laser photochemistry of ammonia on silicon surface

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