Etude de la réactivité induite par laser de l'ammoniac sur une surface de silicium
Ce travail est consacré à la photochimie laser de l'ammoniac en surface du silicium afin de comprendre les premières étapes de la croissance de couches minces de nitrure de silicium assistée par rayonnement. A cette fin, les effets d'un faisceau laser UV (^=355 nm, ?=4,1 ns) ont été étudié...
Zapisane w:
| 1. autor: | |
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| Kolejni autorzy: | |
| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Język: | Français |
| Wydane: |
[S.l.] :
[s.n.]
2001.
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| Hasła przedmiotowe: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Laser photochemistry of ammonia on silicon surface |
Orléans - BU Sciences Technologies STAPS
| Lokalizacja | Sygnatura | Type de prêt | Status | |
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| Magasin | TS 19-2001-71 b |
A consulter sur place
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| Magasin | TS 19-2001-71 | Dostępne |