An introduction to surface-micromachining

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
Päätekijät: Johnstone, Robert W., Parameswaran, M., 19..- (Tekijä)
Aineistotyyppi: Livre numérique
Kieli:Anglais
Julkaistu: Cham : Springer International Publishing 2013.
Cham : Springer Nature
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Edition sous un autre format:• An introduction to surface-micromachining, by Robert W. Johnstone, M. Parameswaran,..., Boston, Kluwer Academic Publishers, 2004, 1 vol. (X-186 p.), 1-4020-8020-4
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504 |a Notes bibliogr. Index. 
506 |a Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales 
506 |a Accès soumis à abonnement pour tout autre établissement 
506 |a Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales. chttps://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 
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