An introduction to surface-micromachining
Enregistré dans:
| Auteurs principaux: | , |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Sprog: | Anglais |
| Udgivet: |
Cham :
Springer International Publishing
2013.
Cham : Springer Nature |
| Fag: | |
| Online adgang: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Kommentar: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
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| Edition sous un autre format: | • An introduction to surface-micromachining, by Robert W. Johnstone, M. Parameswaran,..., Boston, Kluwer Academic Publishers, 2004, 1 vol. (X-186 p.), 1-4020-8020-4 |