Mechanics of Microelectromechanical Systems
This book offers a comprehensive coverage to the mechanics of microelectromechanical systems (MEMS), which are analyzed from a mechanical engineer s viewpoint as devices that transform an input form of energy, such as thermal, electrostatic, electromagnetic or optical, into output mechanical motion...
Tallennettuna:
| Päätekijät: | , |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Livre numérique |
| Kieli: | Anglais |
| Julkaistu: |
New York, NY :
Springer US
2005.
Cham : Springer Nature |
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| Huomautus: |
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| Edition sous un autre format: | • Mechanics of Microelectromechanical Systems, Texte imprimé, 9781402080135 • Mechanics of Microelectromechanical Systems, Texte imprimé, 9780387522494 • Mechanics of Microelectromechanical Systems, Texte imprimé, 9781489981165 |