Advances in chemical mechanical planarization (CMP)

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Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Babu, Suryadevara V.
Materialtyp: Livre numérique
Språk:Anglais
Publicerad: San Diego : Elsevier Science 2016.
Länkar:Accès Université d'Orléans et IFPM
Accès INSA CVL
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La pagination de l'édition imprimée correspondante est de 538 p.
Cyberlibris (ScholarVox) corpus Sciences de l'ingénieur
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Edition sous un autre format:• Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP), Suryadevara Babu, 2016, [Lieu de publication inconnu], Woodhead Publishing, 978-0-08-100165-3
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