Gravure du titane à fort rapport d'aspect pour innovations biomédicales

Le projet de recherche, réalisé dans le cadre d'une thèse CIFRE, s'est effectué en étroite collaboration entre le laboratoire GREMI situé à Orléans et la société MISTIC SAS basée à Issy-les-Moulineaux afin d'allier les domaines d'expertise complémentaires de chaque partie. En par...

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Dades bibliogràfiques
Autor principal: Ettouri, Rim, 1994-
Altres autors: Tillocher, Thomas, 1980- (Directeur de thèse), Dussart, Rémi, 19..-...., auteur en physique (Directeur de thèse), Cardinaud, Christophe, 19..-...., auteur en nanoélectronique (Oponent), Czerwiec, Thierry, 1965- (Oponent), Roussy, Agnès, 1975-...., auteure en optique optoélectronique (Oponent), Bousquet, Angélique, 19..-..., Enseignante-chercheuse (Oponent)
Format: Thèse numérique
Idioma:Français
Anglais
Publicat: 2022.
Matèries:
Nota: Titre provenant de l'écran-titre
Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....)
Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés. UMR 7344 (Orléans ; 2012-....) (Laboratoire)
Autre(s) contribution(s) : Christophe Cardinaud (Président du jury) ; Christophe Cardinaud, Thierry Czerwiec, Agnès Roussy, Angélique Bousquet (Membre(s) du jury) ; Thierry Czerwiec, Agnès Roussy (Rapporteur(s))
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
Variante du titre:High-Aspect-Ratio Plasma Etching of Titanium for Biomedical Innovations
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245 1 0 |a Gravure du titane à fort rapport d'aspect pour innovations biomédicales   |c Rim Ettouri ; sous la direction de Thomas Tillocher et de Rémi Dussart. 
256 |a Données textuelles 
260 |c 2022. 
500 |a Titre provenant de l'écran-titre 
500 |a Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....) 
500 |a Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés. UMR 7344 (Orléans ; 2012-....) (Laboratoire) 
500 |a Autre(s) contribution(s) : Christophe Cardinaud (Président du jury) ; Christophe Cardinaud, Thierry Czerwiec, Agnès Roussy, Angélique Bousquet (Membre(s) du jury) ; Thierry Czerwiec, Agnès Roussy (Rapporteur(s)) 
502 |a Thèse de doctorat. Physique. Orléans. 2022 
506 |a Thèse confidentielle jusqu'au 24 juin 2027 
520 |a Le projet de recherche, réalisé dans le cadre d'une thèse CIFRE, s'est effectué en étroite collaboration entre le laboratoire GREMI situé à Orléans et la société MISTIC SAS basée à Issy-les-Moulineaux afin d'allier les domaines d'expertise complémentaires de chaque partie. En particulier, le sujet a porté sur l'étude de la gravure du titane à fort rapport d'aspect dans le but de réaliser des systèmes innovants de rupture pour des applications visant le développement d'implants biomédicaux de nouvelle génération. La thèse a porté sur l'exploration des paramètres plasma pour le contrôle de la chimie de gravure du titane. Plus précisément, la gravure sèche et anisotrope par plasma du titane constitue une brique technologique majeure que cette thèse a visé à approfondir. Les enjeux scientifiques, décrits ci-dessous, sont de la maîtriser aussi bien à fort rapport d'aspect (gravure profonde de plusieurs centaines de microns) pour la réalisation de microsystèmes en titane aux architectures ambitieuses, qu'à l'échelle nanométrique pour la texturation de leur surface présentant ainsi une réponse au problème de colonisation cellulaire et d'endothélialisation des composants au contact du milieu sanguin. L'objectif final, scientifiquement et technologiquement inédit, est d'avoir un contrôle optimal de la gravure à fort rapport d'aspect (minimum 1:10) ainsi que des procédés de microfabrication reproductibles. L'étude des résidus de gravure et de la contamination du réacteur plasma est aussi un enjeu clé et a nécessité des phases de caractérisations poussées. L'objectif étant par la suite de contrôler la couche de contamination dans le réacteur avec potentiellement un plasma de conditionnement afin de réaliser des procédés dans des conditions identiques et d'obtenir des résultats répétables sur le long terme. 
520 |a The research project, carried out within the context of a CIFRE thesis, was carried out in close collaboration between the GREMI laboratory located in Orléans and the company MISTIC SAS based in Issy-les-Moulineaux in order to combine the complementary fields of expertise of each partner. More specifically, the subject concerns the study of the etching of titanium with high aspect ratio in order to realize innovative systems for applications aiming at the development of new generation biomedical implants.The thesis focuses on the exploration of plasma parameters for the control of the etching chemistry of titanium. In particular, anisotropic plasma etching of titanium is a major technological breakthrough that this thesis aims to explore. The scientific stakes, described below, are to master it at high aspect ratio (deep etching of several hundreds of microns) for the realization of titanium microsystems with ambitious architectures, and at nanometric scale for the texturing of their surface, thus presenting an answer to the problem of cellular colonization and endothelialization of components in contact with the bloodstream.The final objective, scientifically and technologically unprecedented, is to have an optimal control of the etching with high aspect ratio (minimum 1:10) as well as reproducible micro-fabrication processes. The study of etching residues and contamination of the plasma reactor are also a key issue and required extensive characterization phases. The objective is to control the contamination layer in the reactor with a potential plasma conditioning in order to perform processes under identical conditions and to obtain repeatable results over the long term. 
538 |a Configuration requise : un logiciel capable de lire un fichier au format : PDF 
650 |a Titane 
650 |a Innovations médicales 
650 |a Dispositifs médicaux implantables 
650 |a Gravure par plasma 
650 |a Nanobiotechnologie 
650 |a Thèses et écrits académiques 
700 1 |a Tillocher, Thomas,  |d 1980-  |4 ths 
700 1 |a Dussart, Rémi,  |d 19..-....,  |c auteur en physique.  |4 ths 
700 1 |a Cardinaud, Christophe,  |d 19..-....,  |c auteur en nanoélectronique.  |4 opn 
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700 1 |a Roussy, Agnès,  |d 1975-....,  |c auteure en optique optoélectronique.  |4 opn 
700 1 |a Bousquet, Angélique,  |d 19..-...,  |c Enseignante-chercheuse.  |4 opn 
710 2 |a Université d'Orléans.  |4 dgg 
997 |0 1042982  |1 Thèse numérique  |a Ressource numérique  |b INSA  |b ENSA  |c 0/Bibliothèque numérique/  |c 1/Bibliothèque numérique/Autre ressource numérique/