Ion Implantation: Basics to Device Fabrication
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| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Language: | Anglais |
| Published: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Online Access: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Note: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Ion Implantation: Basics to Device Fabrication, 978-0-7923-9520-1 |