Plasma chemistry. III
Guardat en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Altres autors: | |
| Format: | Livre numérique |
| Idioma: | Anglais |
| Publicat: |
Berlin [etc.] :
Springer
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Col·lecció: | Topics in current chemistry
94 |
| Matèries: | |
| Accés en línia: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Nota: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Plasma Chemistry III, Texte imprimé, 9783540101666 • Plasma Chemistry III, Texte imprimé, 9783662159712 • Plasma Chemistry III, Texte imprimé, 9783662159729 |
Taula de continguts:
- Plasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization
- The Mechanism and kinetics of plasma polymerization
- Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas.