Silicon carbide microsystems for harsh environments

<p><em>Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments</em> reviews state-of-the-art Silicon Carbide (SiC) technologies that, when combined, create microsystems capable of surviving in harsh environments. Technological readiness of the system components, key issues when integra...

Deskribapen osoa

Gorde:
Xehetasun bibliografikoak
Egile Nagusiak: Wijesundara, Muthu B. J., 19..-, Azevedo, Robert, 19..- (Egilea)
Formatua: Livre numérique
Hizkuntza:Anglais
Argitaratua: New York, NY : Springer New York [20..].
Cham : Springer Nature
Edizioa:1st ed. 2011.
Saila:MEMS Reference Shelf 22
Sarrera elektronikoa:Accès sur la plateforme de l'éditeur
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Accès INSA CVL
Oharra: Archives Springer e-books (Licence nationale)
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Edition sous un autre format:• Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments, Texte imprimé, 9781441971203
• Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments, Texte imprimé, 9781441971203
• Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments, Texte imprimé, 9781461428824
• Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments, Texte imprimé, 9781441971227
• Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments, Texte imprimé, 9781441971203
• Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments, Texte imprimé, 9781461428824
• Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments, Texte imprimé, 9781441971227
Aurkibidea:
  • Introduction to Harsh MEMs Silicon Carbide Processing Silicon Carbide Electronics Silicon Carbide MEMS Devices Silicon Carbide MEMs Device Packaging System Integration