Microsystems dynamics
In recent years microelectromechanical systems (MEMS) have emerged as a new technology with enormous application potential. MEMS manufacturing techniques are essentially the same as those used in the semiconductor industry, therefore they can be produced in large quantities at low cost. The added be...
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| Auteurs principaux: | , |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Sprog: | Anglais |
| Udgivet: |
Dordrecht :
Springer Netherlands
2011.
Cham : Springer Nature |
| Serier: | Intelligent Systems, Control and Automation: Science and Engineering
44 |
| Online adgang: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Kommentar: |
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| Edition sous un autre format: | • Microsystems Dynamics, Texte imprimé, 9789048197002 • Microsystems Dynamics, Texte imprimé, 9789048197026 • Microsystems Dynamics, Texte imprimé, 9789400734104 |