Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases
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| المؤلفون الرئيسيون: | , |
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| التنسيق: | Livre numérique |
| اللغة: | Anglais |
| منشور في: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| الوصول للمادة أونلاين: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| ملاحظة: |
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| Edition sous un autre format: | • Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases, 978-1-4613-4741-5 |