Silicon nitride for microelectronic applications. Part 2, Applications and devices
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Sprache: | Anglais |
| Veröffentlicht: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Online Zugang: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Anmerkung: |
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| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Silicon Nitride for Microelectronic Applications, Part 2 Applications and Devices |
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| 260 | |a Cham : |b Springer Nature, |c [20..]. | ||
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| 506 | |a Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales | ||
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