Laser Processing of Thin Films and Microstructures : Oxidation, Deposition and Etching of Insulators
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Sprache: | Anglais |
| Veröffentlicht: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Online Zugang: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Anmerkung: |
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| Edition sous un autre format: | • Laser Processing of Thin Films and Microstructures, Oxidation, Deposition and Etching of Insulators |