Pulsed and Pulsed Bias Sputtering : Principles and Applications
Guardado en:
| Autores principales: | Barnat, Edward V., Lu, Toh-Ming (Autor) |
|---|---|
| Formato: | Livre numérique |
| Lenguaje: | Anglais |
| Publicado: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Acceso en línea: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Nota: |
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| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Pulsed and Pulsed Bias Sputtering, Principles and Applications |
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