The Physics of Submicron Lithography
Zapisane w:
| 1. autor: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Język: | Anglais |
| Wydane: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Dostęp online: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Komentarz: |
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| Edition sous un autre format: | • The Physics of Submicron Lithography, 978-1-4613-6461-0 |
| Deskrypcja: | Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
|---|---|
| ISBN: | 9781461533184 |
| Ograniczenie dostępu: | Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales Accès soumis à abonnement pour tout autre établissement Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales. https://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 |