Ion Implantation: Equipment and Techniques : Proceedings of the Fourth International Conference Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-17, 1982

Salvato in:
Dettagli Bibliografici
Altri autori: Ryssel, Heiner, 1941- (Collaboratore), Glawischnig, Hans (Collaboratore)
Natura: Livre numérique
Lingua:Anglais
Pubblicazione: Cham : Springer International Publishing [20..].
Cham : Springer Nature
Accesso online:Accès sur la plateforme de l'éditeur
Accès sur la plateforme Istex
Accès Université d'Orléans
Accès INSA CVL
Nota: Archives Springer e-books (Licence nationale)
Archives Springer e-books (Licence nationale)
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
Edition sous un autre format:• Ion Implantation: Equipment and Techniques, Proceedings of the Fourth International Conference Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-17, 1982
LEADER 01952nam a22003017a 4500
001 950417
008 190906q2000 xxe ||| |||| 00| 0 eng d
009 PPN238019608
020 |a 9783642691560 
024 |a 9783642691560 
041 0 |a eng 
082 |a 621.38152 
245 0 0 |a Ion Implantation: Equipment and Techniques :  |b Proceedings of the Fourth International Conference Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-17, 1982   |c Heiner Ryssel, Hans Glawischnig. 
260 |a Cham :  |b Springer International Publishing. 
260 |a Cham :  |b Springer Nature,  |c [20..]. 
500 |a Archives Springer e-books (Licence nationale) 
500 |a Archives Springer e-books (Licence nationale) 
506 |a Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales 
506 |a Accès soumis à abonnement pour tout autre établissement 
506 |a Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales. https://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 
700 1 |a Ryssel, Heiner,  |d 1941-  |4 clb 
700 1 |a Glawischnig, Hans.  |4 clb 
776 0 |t Ion Implantation: Equipment and Techniques  |o Proceedings of the Fourth International Conference Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-17, 1982 
856 4 |q PDF  |u https://doi.org/10.1007/978-3-642-69156-0  |z Accès sur la plateforme de l'éditeur 
856 4 |u https://revue-sommaire.istex.fr/ark:/67375/8Q1-H7D1RXRT-7  |z Accès sur la plateforme Istex 
856 4 |5 452349901:748147764  |u https://ezproxy.univ-orleans.fr/login?url=https://doi.org/10.1007/978-3-642-69156-0  |z Accès Université d'Orléans 
856 4 |5 180339901:751602981  |u https://ezproxy.insa-cvl.fr/login?qurl=https://doi.org/10.1007/978-3-642-69156-0  |z Accès INSA CVL 
997 |0 950417  |1 Livre numérique  |a Ressource numérique  |b INSA  |b ENSA  |c 0/Bibliothèque numérique/  |c 1/Bibliothèque numérique/Autre ressource numérique/