Multilayer integrated film bulk acoustic resonators
Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators mainly introduces the theory, design, fabrication technology and application of a recently developed new type of device, multilayer integrated film bulk acoustic resonators, at the micro and nano scale involving microelectronic devices, integrated...
Enregistré dans:
| Auteurs principaux: | , |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg
2013.
Cham : Springer Nature |
| Accès en ligne: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Note: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators, Texte imprimé, 9783642317750 • Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators, Texte imprimé, 9783642317774 • Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators, Texte imprimé, 9783642427558 |