Electroceramic-Based MEMS : Fabrication-Technology and Applications
The book is focused on the use of functional oxide and nitride films to enlarge the application range of MEMS (microelectromechanical systems), including micro-sensors, micro-actuators, transducers, and electronic components for microwaves and optical communications systems. Applications, emerging a...
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| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
New York, NY :
Springer US
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Édition: | 1st ed. 2005. |
| Collection: | Electronic Materials: Science & Technology
9 |
| Accès en ligne: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Note: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Electroceramic-based MEMS, Fabrication technology and applications, edited by Nava Setter, ..., New York, Springer, 2005, 1 vol. (414 p.), 0-387-23310-5 • Electroceramic-Based MEMS, Texte imprimé, 9781441936042 • Künstliche Intelligenz, proceedings, GWAI-88, 12. Jahrestagung, Eringerfeld, 19-23 September 1988, 1988, Berlin, Springer, 1 vol. (XII-333 p.), Informatik-Fachberichte, 3-540-50293-9 |